Профессор кафедры физической электроники МГУ.

Родился 3 декабря 1941 г.

Окончил Физический факультет МГУ, 1967 г. Кандидат физико-математических наук, 1975 г. Доктор физико-математических наук, 1993 г. Профессор, 1995 г..

Научные интересы: Микротомография электронных микро- и наноструктур, Диагностика полупроводниковых микроструктур в сканирующей электронной микроскопии.

Участие в советах: член научного совета РАН по электронной микроскопии, член научного совета РАН по неразрушающим методам диагностики микроструктур, член докторского диссертационного совета Д 501.001.66 при МГУ, член докторского диссертационного совета Д.002.081.01 при Институте проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН.

Автор более 250 статей в научных журналах, имеет 26 авторских свидетельств на изобретения. Подготовил 14 кандидатов наук..