Академик РАН (2006). Директор Физико-технологического института РАН, г. Москва.

Родился 12 июня 1938 г. в Москве.

Специалист в области технологии и физики приборов микро- и наноэлектроники. Член Бюро Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН. Заместитель главного редактора журнала "Микроэлектроника".

Награжден орденом Дружбы (2009).